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第365章 “备胎”的转正 - 国产光刻胶第三方验证通过!

一款光刻胶,要想真正从“实验室的宠儿”蜕变为能够支撑整个国家

半导体产业自主崛起的工业脊梁,

它还必须经历一个更严酷、也更具说服力的考验——

那就是,在非启明芯体系的、真正意义上的第三方商业晶圆厂大规模生产线上,进行全面的、不打任何折扣的上线验证!

用实实在在的、可重复的、具有统计学意义的量产数据,来向全世界证明,我们的神农光刻胶,

不仅仅是能用,更是好用,甚至比进口的还要耐用!

这,才是“神农光刻胶SP-28”真正的“生死考验”!

也是它作为战略备胎,能否成功转正,并最终成长为华夏半导体产业链定海神针的——初始之战!

林轩为此,亲自选定了第一个试炼场和战略同盟军——

华夏大陆规模最大、工艺也相对最先进的芯片代工企业

——华芯国际集成电路制造有限公司(SMIC的平行世界加强版)。

华芯国际,作为华夏半导体产业的“国家队”成员之一,近年来虽然也在努力追赶国际先进水平,

但在核心的28纳米及以下逻辑芯片制造工艺上,同样长期受困于国外高端光刻胶的卡脖子之痛。

他们不仅要承受东瀛和M国供应商那高昂到离谱的采购价格,更常常面临“有钱也买不到货”或“只能买到技术降级版”的屈辱境地。

对于启明芯“神农光刻胶”的横空出世,华芯国际的最高管理层,在最初的震惊和难以置信之后,

便立刻敏锐地意识到,这,或许是他们摆脱困境、实现供应链自主的——天赐良机!

在林轩通过国家半导体全产业链自主化领导小组的渠道,

向华芯国际董事长兼CEO张汝发出“共同推进国产高端光刻胶产业化应用”的战略合作邀请后,双方几乎是一拍即合!

“林总!顾博士!”

在一次于京城举行的、由国家工信部和科技部领导共同见证的闭门签约仪式上,

张汝紧紧握住林轩和顾维钧的手,声音因为激动而微微颤抖,

“我代表华芯国际,感谢启明芯为我们华夏半导体产业做出的巨大贡献!

我们华芯国际,愿意成为‘神农光刻胶’的第一个‘商业用户’和最坚定的战略伙伴!

我们愿意拿出我们最先进的28纳米生产线,与启明芯和联合实验室的专家们一起,共同对‘神农光刻胶SP-28’进行最严苛、最全面的上线验证!

我相信,我们一定能够携手,创造出属于我们华夏自己的‘光刻奇迹’!”

一场由启明芯提供核心技术与光刻胶样品、华芯国际提供量产验证平台与工艺环境、

并由双方顶尖技术团队深度参与的、“神农光刻胶SP-28”小批量产线验证攻坚战,

在华芯国际位于沪上最先进的12英寸晶圆厂内,正式打响!

最初的几轮上线测试,过程并不像在启明芯内部研发线上那般顺利。

毕竟,华芯国际的生产设备型号、工艺参数设置、以及产线环境的控制标准,都与启明芯自有的研发线存在着细微的差异。

这些看似微不足道的差异,在光刻这种“失之毫厘谬以千里”的精密工艺中,

都可能导致最终成像结果的巨大偏差。

“神农光刻胶SP-28”在华芯国际的产线上,一度也出现了诸如与特定底层抗反射膜的附着力不佳、

显影后的图形侧壁陡峭度略有下降、以及在某些关键图形的套刻精度上出现微小漂移等“水土不服”的问题。

华芯国际内部,也一度出现了一些对国产光刻胶的质疑和担忧之声。

但顾维钧和他带领的启明芯技术团队,并没有因此而气馁。

他们与华芯国际的工程师们一起,吃住在产线上,针对每一个出现的问题,都进行了最细致、最深入的根源分析。

“伏羲”AI超算平台,再次成为了他们手中最强大的“秘密武器”!它通过对华芯国际产线实时采集的海量数据与光刻胶的化学组分参数、

以及最终图形的缺陷数据进行超高维度的深度关联建模,

以一种近乎“先知”般的能力,精准地找出了导致问题的关键工艺节点,

并给出了一系列针对华芯国际特定产线环境的、“神农光刻胶SP-28”定制化工艺优化建议!

比如,针对附着力问题,“伏羲”建议在光刻胶涂覆前,对晶圆表面增加一道极其短暂的、特定能量的等离子体预处理工序。

针对图形侧壁陡峭度下降的问题,“伏羲”则建议略微调整光刻胶的后烘温度曲线,

并优化显影液的浓度和显影时间。

这些由AI给出的、看似“反直觉”但又“逻辑自洽”的优化方案,

在经过华芯国际工程师们的审慎评估和上线验证后,

每一次,都带来了令人惊喜的改善效果!

在经历了长达数周、数十轮艰苦卓绝的“人机协同”工艺调试与配方微调之后,

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